Elektrik-Elektronik MühendisliğiSarıoğlu, BaykalKızılcabel, Hilal2018-06-282018-06-282017https://hdl.handle.net//11411/1317https://tez.yok.gov.tr/UlusalTezMerkezi/TezGoster?key=fS4sqEZr79C_n60Rk6MjFWNA-px3BvBV4KEpGCHjGUWrx9vSXklW71eJrbfaEb1B[Abstract Not Available]eninfo:eu-repo/semantics/openAccessMicromachined platform design for all optical microsystemsOptik mikro sistemler için mikro platform tasarımıMaster Thesis621520495